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紫外域のアルミニウムの光学特性に及ぼすシード層の影響
Influence of seed layers on optical properties of aluminum in the UV range.
PMID: 32680094 DOI: 10.1364/OE.395638.
抄録
紫外線（UV）用途のアルミニウムフィルムの光学特性を向上させるためのチタンと銅のシード層の可能性を分析した。シード層はアルミニウム膜の初期層成長に大きく影響する。チタンシードアルミニウムでは、0.34nmの表面粗さが観察された。紫外分光反射率測定では、チタンシード層上に成長したアルミニウム膜の120nmから200nmの波長で平均4.8%の高い反射率を示した。さらに，チタンシードアルミニウム皮膜は225℃の高温下でも安定しており，表面粗さやピンホールの増加は見られなかった。
The potential of titanium and copper seed layers to enhance the optical properties of aluminum films for ultra-violet (UV) applications is analyzed. The seed layers significantly influence the initial layer growth of aluminum films. For the titanium-seeded aluminum, a surface roughness of 0.34 nm was observed. UV spectral reflectance measurements showed an average higher reflectivity of 4.8% for wavelengths from 120 nm to 200 nm for the aluminum film grown on the titanium seed layer. Furthermore, the titanium-seeded aluminum coatings were stable at an elevated temperature of 225°C and showed no increase in surface roughness or pinholes.