µg/√Hzの分解能を持つコンパクトなダイヤフラム型光加速度センサ

Compact diaphragm-based optical accelerometers with µg/√Hz resolution.

• Behrad Habib Afshar
• Michel J F Digonnet

抄録

航空機航法用の分解能要件を満たす小型ファイバ加速度センサが報告されています。それは、/2バイアスステップが振動板上にマイクロファブリケーションされた2波干渉計を用いて、バネ負荷のかかった振動板の非常に弱い加速度誘起振動を検出します。シングルモードファイバーは、干渉計に干渉するレーザービームを供給します。このセンサの測定されたフラットバンド感度は10.7 kHzの帯域幅で、分解能は熱機械ノイズによって制限され、100 Torrで13μ/√、20 mTorrで712/√となっています。

A compact fiber accelerometer that meets the resolution requirement for aircraft navigation is reported. It detects extremely weak acceleration-induced vibrations of a spring-loaded diaphragm using a two-wave interferometer with a /2 biasing step micro-fabricated on the diaphragm. A single-mode fiber provides a laser beam that interrogates the interferometer. This sensor has a measured flat-band sensitivity with a bandwidth of 10.7 kHz, and a resolution limited by thermo-mechanical noise of 13µ/√ at 100 Torr, and 712/√ at 20 mTorr.